Flächenhaftes Vermessen von Oberflächen
Oberflächen werden immer häufiger durch neue Bearbeitungsverfahren und Materialien bestimmt. Die Folge für die Qualitätssicherung: Die Messung mit der klassischen Tastschnittmethode ist oft nicht mehr ausreichend. Immer öfter ist eine hochgenaue und flächenhafte Erfassung und Auswertung von Oberflächentopografien erforderlich. Der Anwendungspezialist Mahr bietet mit Weißlichtinterferometer „MarSurf WS1“ einen Oberflächenmessplatz, der nach dem Prinzip der Weißlichtinterferometrie arbeitet.
Wer eine Oberfläche mit dem Weißlichtinterferometer „MarSurf WS1“ von Mahr flächenhaft dreidimensional misst, erfasst Messdaten 100 Mal schneller als mit der Tastschnittmethode – nämlich innerhalb weniger Sekunden. Gleichzeitig stößt der Benutzer mit der optischen Messtechnik in den Nanometerbereich vor. Das Messgerät arbeitet mit einer vertikalen Auflösung von 0,1 nm bei einem Messbereich von 100µm. Ein weiteres Plus der 3D-Messung: Die Oberflächendarstellung auf dem PC-Monitor bietet wesentlich mehr Informationen über die zu vermessene Fläche als ein einzelner Tastschnitt. Dabei werden Messaufgaben von Oberflächentopografien im Bereich von ca. 0,5 mm2 bis ca. 2 mm2 gelöst. Die innovative Auswertung des Messsignals erlaubt dem Messgerät, sowohl spiegelnde als auch raue Werkstücke zu analysieren. So können Metall, Glas, Lack, Kunststoffe oder Beschichtungen vermessen werden. Dadurch ist der optische Messplatz für die Blech-, Lack und Kunststoffin-dustrie besonders interessant.
Prinzip Weißlichtinterferometrie
Bei der Beschäftigung mit Mikrostrukturen und dem ermitteln von Topografien in Nanometerauflösung, oder der geometrischen Beurteilung spiegelnder Oberflächen sind Weißlichtsensoren erste Wahl – und dadurch anderen optischen Messprinzipien weit überlegen. Der Aufbau gleicht dem eines klassischen Interferometers, jedoch nutzt man hier nicht kohärentes Licht, sondern Weißlicht. Dieses zeichnet sich durch eine sehr kurze Kohärenzlänge aus und besitzt dadurch hervorragende Ei-genschaften zum Messen von Oberflächentopografien. Die Höheninformation kann im Gegensatz zur klassischen Interferometrie dann auch bei Stufensprüngen im Messobjekt eindeutig zugeordnet werden. Der zu messende Ausschnitt der Oberfläche wird auf eine CCD-Kamera abgebildet. In den eingesetzten Interferenzobjektiven (Mirau-Objektive) werden mit Hilfe eines Strahlteilers der Oberflächenausschnitt und eine hochgenaue Referenzfläche im gleichen Maßstab abgebildet. So überlagern sich auf der Kamera die Bilder von Probe und Referenz zu einem Interferogramm. Beim Messen wird das Mirau-Objektiv mit einem Piezopositionierer in kleinen Schritten in Z-Richtung verfahren. Die dabei auftretenden Interferogramme werden als Bilderstapel aufgenommen, ausgewertet und in Höhendaten umgerechnet.
Beispiel geschliffene Oberfläche
Die Vorzüge und die Funktionsweisen einer 3D-Topografie in der Qualitätssicherung erklären sich am Beispiel einer geschliffenen Oberfläche, wie sie beispielsweise im Maschinenbau an Gleitlageroberflächen vorkommt. Entscheidende Eigenschaften für die Funktion einer Oberfläche ist die Struktur die durch das Bearbeitungsverfahren erzielt wird. Tribologische Eigenschaften werden durch verändern der Schleifparameter an die jeweilige Aufgabenstellung angepasst. Die Verteilung und Ausrichtung der Profilmerkmale sind verfahrensbedingt nicht mehr so richtungsgebunden und periodisch, wie dies z.B. beim Drehprozess erfolgt. Das konventionelle Tastschnittverfahren reicht zur Charakterisierung nicht aus. Erst das Verfahren der Weißlichtinterferometrie ermöglicht die messtechnische Beschreibung der Blechoberfläche und erfasst die maximalen bzw. minimalen Profilmerkmale.
Passende Auswertesoftware
Durch die zum Oberflächenmessplatz passende Topografie-Software „MarSurf TX 20“ lassen sich viele Auswertungen und Infos über die analysierte Oberfläche „auf Knopfdruck“ abrufen. Zu den leistungsstarken Merkmalen der Topografie-Software zählen farbkodierte Darstellungen, Fotosimulation, Berechnung von 3D-Oberflächenkenngrößen und das Einfügen von Schnittebenen mit daraus ermittelbaren Konturelementen. Das optische Mess-System erfasst sowohl raue als auch glatte Oberflächen, Objekthöhen werden absolut vermessen – auch Objekte mit großen Stufen.
Fertigungsnahe Messungen
Um höchste Genauigkeiten in der Fertigungsumgebung messen zu können, sind innovative Lösungen erforderlich. Das kompakte Bauvolumen in Verbindung mit einem patentierten Schwingungsabsorber garantieren bei diesem Mahr-Messgerät zuverlässige Ergebnisse auch außerhalb des Messlabors. Das Optik-Design des Gerätes ermöglicht bei einfacher Handhabung und Justage auch und insbesondere die Messungen an industriell bearbeiteten Oberflächen. Diese Vorraussetzungen bieten neue Perspektiven für Forschung und Industrie – für die Automobil- und Halbleiterindustrie ebenso wie für die Medizin-, Glas- oder Kunststofftechnik.
Prinzip der Weißlichtinterferometrie.