Měřicí technika
Měřicí technika
MarSurf WM 100 3D Surface Measurement
CS
Vysoce přesná interferometrie s bílým světlem
MarSurf WM 100 s novou kamerou a funkčně rozšířeným softwarem interferometru nabízí rozlišení v subnanometrickém rozsahu a vysokou přesnost měření.

Hlavní výhody:

  • Nejvyšší přesnost se subnanometrickým rozlišením a přesností měření
  • Rychlá měření - krátké časy měření
  • Univerzální vhodnost pro optické a odrazné povrchy, jemné technické povrchy a povrchy desek plošných spojů, polovodičových výrobků a biologických tkání
  • Tři různé měřicí režimy: VSI, EPSI a PSI
  • Speciální vyhodnocovací metoda pro Lambda / 2 stupně
  • 2D analýza povrchu a vyhodnocení naměřených hodnot
  • Topografická 3D analýza povrchu a vyhodnocení naměřených hodnot
  • Manuální nastavení polohy stolu, resp. objektu až ve 4 osách
  • Velký výběr objektivů umožňuje ideální přizpůsobení na měřený objekt
  • Stabilní konstrukce s granitovou základovou deskou
  • Technické parametry
  • Použití
  • Příslušenství
  • Rozsah dodávky

Princip měření
Interferometricky, interferometricky s bílým světlem
Zdroj světla (WLI): Vysokovýkonné LED, 505 nm
Rozsah měření mm
Senzorová jednotka s možností posuvu pes 200 mm ve směru Z
Objektový stůl s možností posuvu ve směrech X a Y

Interferometr, interferometr pro bílé světlo:
Rozsah měření (WLI): až 100 µm (vertikální)
Připojení
230 V, 50 Hz

Strojírenství
Drsnost upravených kovových povrchů všeho druhu (broušené, válcované atd.), dále laserově upravované povrchy, jemné keramické a plastové povrchy

Elektronika a polovodiče
Analýza povrchu u povlaků, měření a analýza elektronických a polovodičových konstrukčních prvků

Lékařská technika
Kovové, keramické a plastové povrchy na implantátech, protézách a nástrojích

Optika
Analýza drsnosti optických prvků (všeho druhu, veškeré materiály)

Volitelně:
  • Naklápěcí stůl CT 120 dvojosý
  • Stůl s nastavením úhlu +/- 30°
  • Sada etalonů
  • Objektivy WLI
    2,5x0,075; 5x0,13; 10x0,3; 20x0,4; 50x0,55; 100x0,7
  • MarSurf MfM pro profesionální vyhodnocení, grafické znázornění a vytváření protokolů
    (lze vybírat z verzí Standard, Extended, Premium)
  • Aktivní systém na tlumení vibrací
    (pro maximální utlumení vibrací pro účely měření v nanometrickém a subnanometrickém rozsahu)

Soustava čidel, zahrnuje:
  • Snímací hlava WLI
    - Kamera 1280×1024 obrazových bodů, do 169 snímků/s
    - 100 µm osa Z s piezoelektrickým pohonem
  • Softwarový modul WLI, software „Inspector“
  • Počítač s Windows 10 a 24" monitorem
  • Granitová základna a sloupek s ručním polohováním soustavy čidel v ose Z
  • Manuální souřadnicový stůl k polohování vzorků
  • Objektiv 20x0,4 DI (interferometr pro bílé světlo)