Messtechnik
Messtechnik
MarSurf CWM 100
DE
Das hochpräzise und computergesteuerte optische Messgerät MarSurf CWM 100 mit Sub-Nanometer-Auflösung. Ein kombiniertes 3D-Messsystem bestehend aus konfokalem Mikroskop und Weißlichtinterferometer
  • Höchste Präzision mit Sub-Nanometer-Auflösung
  • Universelle Eignung für technische, optische und spiegelnde Oberflächen sowie Oberflächen von Leiterkarten und Halbleiterprodukten sowie biologischen Geweben
  • 2D-Oberflächenanalyse und Messauswertungen
  • Topografische 3D-Oberflächenanalyse und Messwertauswertungen
  • Schnelle Messungen - kurze Messzeiten
  • Mikroskopische Bildfeldgrößen, einfach erweiterbar durch vollautomatischen Stitching-Prozess
  • Automatische Tisch- bzw. Objektpositionierung: 100 mm x 100 mm, größere Wege auf Anfrage
  • Große Auswahl an Objektiven ermöglicht eine ideale Anpassung an das Messobjekt
  • Massiver Aufbau mit Granit-Basisplatte und Granitsäule für bestmögliche Vibrationsdämpfung
  • Professionelle Auswertesoftware auf Basis von MountainsMap©
  • Technische Daten
  • Anwendungen
  • Zubehör
  • Lieferumfang

Messprinzip
Interferometrisch, Weißlicht-interferometrisch und Konfokal
Lichtquelle (KFM und WLI): Hochleistungs-LED, 505 nm
Messbereich mm
Sensoreinheit 100 mm in Z verfahrbar, CNC-steuerbar
Objekttisch 100 mm in X und Y verfahrbar, CNC-steuerbar

Interferometer, Weißlichtinterferometer:
Messbereich (WLI): Über 4 mm (Standard-Modus), über 20 mm im erweiterten Modus

Konfokalmikroskop:
Messbereich (KFM): Bis 10 mm (abhängig von Auflösung in Z und Objektiv)
Anschlüsse
230 V, 50 Hz

Maschinenbau
Metallische Oberflächen aller Art (geschliffen, gewalzt, usw.), auch laserstrukturierte Oberflächen, keramische und Kunststoff-Oberflächen, Oberflächen von Gussformen

Medizin
Metallische, keramische und Kunststoff-Oberflächen an Implantaten, Prothesen und Instrumenten

Elektronik

Oberflächenanalyse von Beschichtungen, Messung und Analyse von Elektronik- und Halbleiter-Bauelementen

Optik

Form- und Rauigkeitsanalyse diverser Optikkomponenten (alle Werkstoffe)

Kipptisch CT 120 zweiachsig

Winkel-Einstelltisch +/- 30°

Normalen-Set

Konfokalmikroskop:
10x0,3 / 20x0,4
KFM-Objektive 10x0,5;  20x0,75;  50x0,6; 50x0,8;  100x0,9;  Weitere KFM-Objektive, auch mit extra großem Arbeitsabstand, auf Anfrage

Weißlichtinterferometer:

WLI-Objektive 2,5x0,075;  5x0,13;  10x0,3;  20x0,4;  50x0,55;  100x0,7

  • Sensorik, bestehend aus:
    • Konfokalmikroskop KFM mit 6fach Objektivrevolver
    • Kamera 780 Pixel x 580 Pixel, bis 48 Bilder/s (Standardversion)
    • 100 mm CNC-steuerbare Z-Achse mit integriertem Heidenhain-Glasmaßstab
    • WLI-Softwaremodul, Software "Inspector"
  • Granitgrundgestell und Säule mit Sensorik und CNC-steuerbarem Objekttisch
  • Motorische Mehrachsen-Steuerung für Z-Achse und XY-Tisch zur Probenpositionierung und Bildfeldzusammenführung ("Stitching")
  • Objektive (optional):
    • 4x bis 150x (Konfokalmikroskop)
    • 2,5x bis 100x (Weißlichtinterferometer)