Messtechnik
Messtechnik
MarForm MFU 200 Aspheric 3D Hochgenauer 3D-Messplatz
DE
Die MarForm MFU 200 Aspheric 3D wurde von Mahr mit dem Ziel entwickelt, optische Komponenten schnell und fertigungsnah in 2D / 3D zu prüfen. MarForm-Messmaschinen sind seit Jahrzehnten für ihre Genauigkeit und Stabilität bekannt.
Mit der MarForm MFU 200 Aspheric 3D wird jetzt diese Erfahrung der optischen Industrie zugänglich gemacht.

Genauigkeit
Mit der MarForm MFU 200 Aspheric 3D steht Ihnen ein hochgenaues Messinstrument zur Verfügung, das mit seiner sehr kleinen Messunsicherheit ideal auf die Anforderung Ihrer Porzessoptimierungen abgestimmt ist.

Messprinzip
Mit der MarForm MFU 200 Aspheric 3D wird die Topografie von optischen Komponenten gemessen. Selbstverständlich kann auch eine schnelle 2D-Messung mit einem Tastschnitt über den Zenit der Linse aufgenommen werden. Für die 3D-Messung werden in einem Ablauf zunächst zwei um 90° versetzte Linearprofile über den Zenit der Linse gemessen. Anschließend werden mehrere konzentrische Kreisprofile durch Drehen der C-Achse aufgenommen. Diese Messpunkte werden zur Erzeugung einer Topografie genutzt. Die freie Positionierbarkeit des Tastarmes ermöglicht das Messen von unterbrochenen Flächen.
Durch den Einsatz des Messplatzes in einer schwingungsgedämpften Kabine werden äußere Störeinflüsse wie Vibrationen und Schmutz von Messobjekten ferngehalten. Hierbei ist MarWin die Bedien- und Auswertesoftware.

Messablauf
Vor der Messung wählen Sie den Sollformtyp und stellen die Parameter der zu erwartenden Soll-Linse ein. Im nächsten Schritt werden die Messdaten aufgenommen und mit den Solldaten der Linse verglichen.
Als Kenngrößen werden der RMS-Wert, PV-Wert und der Steigungsfehler (Slope Error) angezeigt.
In der Software können für die Asphären die einzelnen Parameter wie der Krümmungsradius R0, die konische Konstante k und die asphärischen Koeffizienten Ai beim Anpassen der Soll-Asphäre in die Fit-Asphäre an die Messergebnisse angepasst werden.
Die Differenztopografie zwischen den ermittelten Messwerten und der Soll-Linse wird als farbkodiertes Höhenbild ausgegeben.Die 2D-Schnitte und die Differenztopografie können dann in bekannten Formaten zur Korrektur für die Bearbeitungsmaschine exportiert werden.
Neben der Messung von Sphären und Asphären nach der oben genannten Beschreibung können auch andere rotationssymmetrische Objekte mit Hilfe der Sollform als Kegelschnitt- bzw. Pfeilhöhenbeschreibung oder einer 3D-Punktewolke gemessen und ausgewertet werden.
  • Technische Daten

Rundheitsabweichung (µm+µm/mm Messhöhe) *
0,01 + 0,0002
Rundheitsabweichung (µm+µm/mm Messhöhe) **
0,02 + 0,0004
Laufabweichung axial (µm+µm/mm Messradius) *
0,02 + 0,0002
Laufabweichung axial (µm+µm/mm Messradius) **
0,04 + 0,0004
Zentrier- und Kipptisch
automatisch
Tischdurchmesser (mm)
180
Tischbelastbarkeit, zentrisch (N)
200
Drehzahl (1/min) 50 Hz / 60 Hz
0,1 bis 200
Geradheitsabweichung / 100 mm Messweg (µm)**, Z-Achse
0,1
Geradheitsabweichung / gesamter Messweg (µm)**, Z-Achse
0,3
Parallelitätsabweichung Z- / C-Achse in Tastrichtung, Messweg (µm)
0,6
Messgeschwindigkeit (mm/s), Z-Achse
0,1 bis 50
Positioniergeschwindigkeit (mm/s), Z-Achse
0,1 bis 50
Geradheitsabweichung / gesamter Messweg (µm)**, X-Achse
0,3
Rechtwinkligkeit X- / C-Achse, Messweg (µm)
0,3
Positioniergeschwindigkeit (mm/s), X-Achse
0,1 bis 50
Messgeschwindigkeit (mm/s), X-Achse
0,1 bis 50