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Das hochpräzise optische Messgerät MarSurf WM 100 mit Sub-Nanometer-Auflösung und Messgenauigkeit. Ein 3D-Weißlichtinterferometer-Messsystem.
- Höchste Präzision mit Sub-Nanometer-Auflösung und Meßgenauigkeit
- Universelle Eignung für optische und spiegelnde Oberflächen, feine technische Oberflächen sowie Oberflächen von Leiterkarten und Halbleiterprodukten sowie biologischen Geweben
- 2D-Oberflächenanalyse und Messauswertungen
- Topografische 3D-Oberflächenanalyse und Messwertauswertungen
- Schnelle Messungen - kurze Messzeiten
- Manuelle Tisch- bzw. Objektpositionierung in bis zu 4 Achsen
- Große Auswahl an Objektiven ermöglicht eine ideale Anpassung an das Messobjekt
- Stabiler Aufbau mit Granit-Basisplatte
- Professionelle Auswertesoftware auf Basis von MountainsMap©
- Technische Daten
- Anwendungen
- Zubehör
- Lieferumfang
Messprinzip | Interferometrisch, Weißlicht-interferometrisch Lichtquelle (WLI): Hochleistungs-LED, 505 nm |
|---|---|
Messbereich mm | Sensoreinheit über 200 mm manuell in Z verfahrbar Objekttisch in X und Y manuell verfahrbar Interferometer, Weißlichtinterferometer: Messbereich (WLI): Bis zu 100 µm (vertikal) |
Anschlüsse | 230 V, 50 Hz |
Maschinenbau
Feine metallische Oberflächen aller Art (geschliffen, gewalzt, usw.), auch laserstrukturierte Oberflächen, feine keramische und Kunststoff-Oberflächen, Oberflächen von Gussformen
Medizin
Metallische, keramische und Kunsstoff-Oberflächen an Implantaten, Prothesen und Instrumenten
Elektronik
Oberflächenanalyse von Beschichtungen, Messung und Analyse von Elektronik- und Halbleiter-Bauelementen
Optik
Rauigkeitsanalyse diverser Optikkomponenten (alle Werkstoffe)
Feine metallische Oberflächen aller Art (geschliffen, gewalzt, usw.), auch laserstrukturierte Oberflächen, feine keramische und Kunststoff-Oberflächen, Oberflächen von Gussformen
Medizin
Metallische, keramische und Kunsstoff-Oberflächen an Implantaten, Prothesen und Instrumenten
Elektronik
Oberflächenanalyse von Beschichtungen, Messung und Analyse von Elektronik- und Halbleiter-Bauelementen
Optik
Rauigkeitsanalyse diverser Optikkomponenten (alle Werkstoffe)
Kipptisch CT 120 zweiachsig
Winkel-Einstelltisch +/- 30°
Normalen-Set
Weißlichtinterferometer:
WLI Objektive 2,5x0,075; 5x0,13; 10x0,3; 20x0,4; 50x0,55; 100x0,7
Optional:
Winkel-Einstelltisch +/- 30°
Normalen-Set
Weißlichtinterferometer:
WLI Objektive 2,5x0,075; 5x0,13; 10x0,3; 20x0,4; 50x0,55; 100x0,7
Optional:
- Mit aktiver Schwingungsdämpfung für bestmögliche Vibrationsdämpfung zur Messung im Nanometer und Subnanometerbereich
- Sensorik, bestehend aus:
- WLI Sensorkopf
- Kamera 768x582 Pixel, bis 48 Bilder/s
- 100 µm Z-Achse mit Piezotrieb
- WLI Softwaremodul, Software "Inspector"
- Granitbasis und Säule mit manueller Z-Positionierung der Sensorik
- Manueller XY-Objekttisch zur Probenpositionierung
- Objektiv 20x0,4 DI (Weißlichtinterferometer)
