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Hochpräzise Weißlichtinterferometrie
Das MarSurf WM 100 mit neuer Kamera und funktional erweiterter Interferometersoftware bietet Sub-Nanometer-Auflösung und Messgenauigkeit.
Das MarSurf WM 100 mit neuer Kamera und funktional erweiterter Interferometersoftware bietet Sub-Nanometer-Auflösung und Messgenauigkeit.
Ihre Top-Vorteile:
- Höchste Präzision mit Sub-Nanometer-Auflösung und Meßgenauigkeit
- Schnelle Messungen - kurze Messzeiten
- Universelle Eignung für optische und spiegelnde Oberflächen, feine technische Oberflächen sowie Oberflächen von Leiterkarten und Halbleiterprodukten sowie biologischen Geweben
- Drei verschiedene Messmodi: VSI, EPSI und PSI
- Spezielles Auswerteverfahren für Lambda/2 Stufen
- 2D-Oberflächenanalyse und Messauswertungen
- Topografische 3D-Oberflächenanalyse und Messwertauswertungen
- Manuelle Tisch- bzw. Objektpositionierung in bis zu 4 Achsen
- Große Auswahl an Objektiven ermöglicht eine ideale Anpassung an das Messobjekt
- Stabiler Aufbau mit Granit-Basisplatte
- Technische Daten
- Anwendungen
- Zubehör
- Lieferumfang
Messprinzip | Interferometrisch, Weißlicht-interferometrisch Lichtquelle (WLI): Hochleistungs-LED, 505 nm |
|---|---|
Messbereich mm | Sensoreinheit über 200 mm manuell in Z verfahrbar Objekttisch in X und Y manuell verfahrbar Interferometer, Weißlichtinterferometer: Messbereich (WLI): Bis zu 100 µm (vertikal) |
Anschlüsse | 230 V, 50 Hz |
Maschinenbau
Rauheit von feinen metallischen Oberflächen aller Art (geschliffen, gewalzt, usw.), auch laserstrukturierten Oberflächen und feinen keramischen und Kunststoff-Oberflächen
Elektronik und Halbleiter
Oberflächenanalyse von Beschichtungen, Messung und Analyse von Elektronik- und Halbleiter-Bauelementen
Medizintechnik
Metallische, keramische und Kunststoff-Oberflächen an Implantaten, Prothesen und Instrumenten
Optik
Rauheitsanalyse optischer Elemente (aller Art, alle Werkstoffe)
Rauheit von feinen metallischen Oberflächen aller Art (geschliffen, gewalzt, usw.), auch laserstrukturierten Oberflächen und feinen keramischen und Kunststoff-Oberflächen
Elektronik und Halbleiter
Oberflächenanalyse von Beschichtungen, Messung und Analyse von Elektronik- und Halbleiter-Bauelementen
Medizintechnik
Metallische, keramische und Kunststoff-Oberflächen an Implantaten, Prothesen und Instrumenten
Optik
Rauheitsanalyse optischer Elemente (aller Art, alle Werkstoffe)
Optional:
- Kipptisch CT 120 zweiachsig
- Winkel-Einstelltisch +/- 30°
- Normalen-Set
- WLI Objektive
2,5x0,075; 5x0,13; 10x0,3; 20x0,4; 50x0,55; 100x0,7 - MarSurf MfM für professionelle Auswertung, grafische Darstellung und Protokollerstellung
(Standard-, Extended-, Premium-Version wählbar) - Aktives Schwingungsdämpfungs-System
(für bestmögliche Vibrationsdämpfung zur Messung im Nanometer und Subnanometerbereich)
Sensorik bestehend aus:
- WLI Sensorkopf
- Kamera 1280x1024 Pixel, bis 169 Bilder/s
- 100 µm Z-Achse mit Piezotrieb - WLI Softwaremodul, Software "Inspector"
- PC mit Win 10 und 24" Monitor
- Granitbasis und Säule mit manueller Z-Positionierung der Sensorik
- Manueller XY-Objekttisch zur Probenpositionierung
- Objektiv 20x0,4 DI (Weißlichtinterferometer)
