Messtechnik
Messtechnik
MarSurf CWM 100
DE
Die Multi-Messlösung
Das hochpräzise optische Messgerät MarSurf CWM 100 bietet sub-nanometer-Auflösung innerhalb eines kombinierten 3D-Messsystems bestehend aus konfokalem Mikroskop und Weißlichtinterferometer.

Ihre Top-Vorteile:
  • Höchste Präzision mit Sub-Nanometer-Auflösung
  • Universelle Eignung für technische, optische und spiegelnde Oberflächen sowie Oberflächen von Leiterkarten und Halbleiterprodukten sowie biologischen Geweben
  • 2D-Oberflächenanalyse und Messauswertungen
  • Topografische 3D-Oberflächenanalyse und Messwertauswertungen
  • Schnelle Messungen - kurze Messzeiten
  • Mikroskopische Bildfeldgrößen, einfach erweiterbar durch vollautomatischen Stitching-Prozess
  • Automatische Tisch- bzw. Objektpositionierung: 100 mm x 100 mm
  • Große Auswahl an Objektiven ermöglicht eine ideale Anpassung an das Messobjekt
  • Massiver Aufbau mit Granit-Basisplatte und Granitsäule für bestmögliche Vibrationsdämpfung
  • Technische Daten
  • Anwendungen
  • Zubehör
  • Lieferumfang

Messprinzip
Interferometrisch, Weißlicht-interferometrisch und Konfokal
Lichtquelle (CM und WLI): Hochleistungs-LED, 505 nm
Messbereich mm
Sensoreinheit 100 mm in Z verfahrbar, CNC-steuerbar
Objekttisch 100 mm in X und Y verfahrbar, CNC-steuerbar

Interferometer, Weißlichtinterferometer:
Messbereich (WLI): Über 4 mm (Standard-Modus), über 20 mm im erweiterten Modus

Konfokalmikroskop:
Messbereich (CM): Bis 10 mm (abhängig von Auflösung in Z und Objektiv)
Anschlüsse
230 V, 50 Hz

Maschinenbau
Rauheit, Geometrie und Verschleißvolumen qualifizieren und quantifizieren

Elektronik und Halbleiter
Bauteilinspektion bis in den Submikrometerbereich für fehlerfreie Produkte

Medizintechnik
Qualitätssicherung von medizintechnischen Oberflächen in Produktion und Labor

Materialwissenschaft
Optimierung von Funktionseigenschaften neuer Oberflächen und Produkte

Mikrosystemtechnik
Komplexe Oberflächengeometrien von kleinsten Bauteilen nanometergenau vermessen

Optional:
  • Kipptisch CT 120 zweiachsig
  • Winkel-Einstelltisch +/- 30°
  • Normalen-Set
  • WLI Objektive
    2,5x0,075;  5x0,13;  10x0,3;  20x0,4;  50x0,55;  100x0,7
  • Konfokal-Mikroskop Objektive
    10x0,3;
    10x0,5; 20x0,4;  20x0,75;  50x0,6; 50x0,8;  100x0,9
  • MarSurf MfM für professionelle Auswertung, grafische Darstellung und Protokollerstellung
    (Standard-, Extended-, Premium-Version wählbar)
  • Aktives Schwingungsdämpfungs-System
    (für bestmögliche Vibrationsdämpfung zur Messung im Nanometer und Subnanometerbereich)

Sensorik, bestehend aus:
  • Konfokalmikroskop & WLI mit 6fach Objektivrevolver
  • Kamera 780 Pixel x 580 Pixel, bis 48 Bilder/s (Standardversion)
  • 100 mm CNC-steuerbare Z-Achse mit integriertem Heidenhain-Glasmaßstab
  • Softwaremodul, Software "Inspector"
  • Granitgrundgestell und Säule mit Sensorik und CNC-steuerbarem Objekttisch
  •  Mehrachsen-Steuerung für Z-Achse und XY-Tisch zur Probenpositionierung und Bildfeldzusammenführung ("Stitching")
  • Objektive (optional):
    -
    4x bis 150x (Konfokalmikroskop)
    -
    2,5x bis 100x (Weißlichtinterferometer)