Messtechnik
Messtechnik
MarOpto FI 3100 VB Fizeau-Interferometer
DE
Simultanes Phase-Shifting für vibrationsunempfindliche Messungen im Produktionsumfeld
MarOpto FI 3100 VB, das Fizeau Interferometer mit zeitgleichem Multi-Phase-Shifting, ist ein vibrationsunabhängiges Messsystem, welches eine minimale Verschlusszeit von lediglich 10 µs bietet. Einerseits ist MarOpto FI 3100 VB optimiert für den Einsatz im fertigungsnahen Umfeld und andererseits werden sehr hohe Genauigkeit, Stabilität und Wiederholgenauigkeit erreicht. Die neue SPARC-Technologie von Mahr ermöglicht Messfehler unter λ / 50 ohne Schwingungsisolation.
  • Absolute Vibrationsunempfindlichkeit
  • Fizeau-Strahlengang
  • Oberflächen mit Reflexionsgraden von 0,1 bis 100 % können geprüft werden
  • 10 µs Aufnahmezeit
  • 1k x 1k Auflösung
  • Kompatibel zu Referenzoptiken und Zubehör, welches die standardisierte 100 mm (4“) Schnittstelle nutzt.
  • Anwendungen

  • Messungen an Planoptiken, konkaven und konvexen Oberflächen unterschiedlichster Größe
  • Messungen über große Distanzen auch in Vakuumkammern
  • In-situ-Messungen an optischen, polierten & Waferoberflächen
  • Schnelle Messungen thermodynamischer Vorgänge sowie von Objekten in Bewegung
  • Charakterisierung & Kompensation von Doppelbrechungseffekten