Messtechnik
Messtechnik
MarSurf WM 100
DE
Hochpräzise Weißlichtinterferometrie
Das MarSurf WM 100 mit neuer Kamera und funktional erweiterter Interferometersoftware bietet Sub-Nanometer-Auflösung und Messgenauigkeit.

Ihre Top-Vorteile:

  • Höchste Präzision mit Sub-Nanometer-Auflösung und Meßgenauigkeit
  • Schnelle Messungen - kurze Messzeiten
  • Universelle Eignung für optische und spiegelnde Oberflächen, feine technische Oberflächen sowie Oberflächen von Leiterkarten und Halbleiterprodukten sowie biologischen Geweben
  • Drei verschiedene Messmodi: VSI, EPSI und PSI
  • Spezielles Auswerteverfahren für Lambda/2 Stufen
  • 2D-Oberflächenanalyse und Messauswertungen
  • Topografische 3D-Oberflächenanalyse und Messwertauswertungen
  • Manuelle Tisch- bzw. Objektpositionierung in bis zu 4 Achsen
  • Große Auswahl an Objektiven ermöglicht eine ideale Anpassung an das Messobjekt
  • Stabiler Aufbau mit Granit-Basisplatte
  • Technische Daten
  • Anwendungen
  • Zubehör
  • Lieferumfang

Messprinzip
Interferometrisch, Weißlicht-interferometrisch
Lichtquelle (WLI): Hochleistungs-LED, 505 nm
Messbereich mm
Sensoreinheit über 200 mm manuell in Z verfahrbar
Objekttisch in X und Y manuell verfahrbar

Interferometer, Weißlichtinterferometer:
Messbereich (WLI): Bis zu 100 µm (vertikal)
Anschlüsse
230 V, 50 Hz

Maschinenbau
Rauheit von feinen metallischen Oberflächen aller Art (geschliffen, gewalzt, usw.), auch laserstrukturierten Oberflächen und feinen keramischen und Kunststoff-Oberflächen

Elektronik und Halbleiter
Oberflächenanalyse von Beschichtungen, Messung und Analyse von Elektronik- und Halbleiter-Bauelementen

Medizintechnik
Metallische, keramische und Kunststoff-Oberflächen an Implantaten, Prothesen und Instrumenten

Optik
Rauheitsanalyse optischer Elemente (aller Art, alle Werkstoffe)

Optional:
  • Kipptisch CT 120 zweiachsig
  • Winkel-Einstelltisch +/- 30°
  • Normalen-Set
  • WLI Objektive
    2,5x0,075;  5x0,13;  10x0,3;  20x0,4;  50x0,55;  100x0,7
  • MarSurf MfM für professionelle Auswertung, grafische Darstellung und Protokollerstellung
    (Standard-, Extended-, Premium-Version wählbar)
  • Aktives Schwingungsdämpfungs-System
    (für bestmögliche Vibrationsdämpfung zur Messung im Nanometer und Subnanometerbereich)

Sensorik bestehend aus:
  • WLI Sensorkopf
    - Kamera 1280x1024 Pixel, bis 169 Bilder/s
    - 100 µm Z-Achse mit Piezotrieb
  • WLI Softwaremodul, Software "Inspector"
  • PC mit Win 10 und 24" Monitor
  • Granitbasis und Säule mit manueller Z-Positionierung der Sensorik
  • Manueller XY-Objekttisch zur Probenpositionierung
  • Objektiv 20x0,4 DI (Weißlichtinterferometer)