Metrología
Metrología
MarSurf WM 100 3D Surface Measurement
ES
El aparato óptico de medición altamente preciso MarSurf WM 100 con resolución en el rango de los subnanómetros y alta precisión de medición. Un sistema de medición mediante interferómetro de luz blanca en 3D.
  • Máxima precisión con resolución en el rango de los subnanómetros y alta precisión de medición
  • Adecuación universal para superficies ópticas y reflejantes, así como para superficies técnicas precisas y superficies de placas de circuito impreso, productos de semiconductores y tejidos biológicos
  • Análisis de superficies en 2D y evaluaciones de mediciones
  • Análisis de superficies topográficas en 3D y evaluaciones de valores de medición
  • Mediciones rápidas - Tiempos de medición cortos
  • Posicionamiento manual de la mesa y del objeto en un máximo de 4 ejes
  • La amplia selección de objetivos permite obtener una adaptación ideal al objeto de medición
  • Construcción estable con placa base de granito
  • Software de evaluación profesional basado en MountainsMap©
  • Datos técnicos
  • Aplicaciones
  • Accesorios
  • Volumen de suministro

Principio de medición
Interferométrico, interferométrico de luz blanca
Fuente de luz (WLI): LED de alto rendimiento, 505 nm
Intervalo de medición mm
Unidad de sensor desplazable manualmente 200 mm en Z
Mesa portadora desplazable manualmente en X e Y

Interferómetro, interferómetro de luz blanca:
Intervalo de medición (WLI): hasta 100 µm (vertical)
Conexiones
230 V, 50 Hz

Construcción de máquinas
Superficies metálicas precisas de todo tipo (rectificadas, laminadas, etc.), incluidas las superficies estructuradas por láser, las superficies precisas cerámicas y de plástico y las superficies de moldes de inyección

Medicina
Superficies metálicas, cerámicas y de plástico para implantes, prótesis e instrumentos

Electrónica

Análisis de superficies de resvestimientos, medición y análisis de elementos de construcción electrónicos y de semiconductores

Óptica

Análisis de rugosidad de diversos componentes del sector de la óptica (todos los materiales)

Mesa basculante CT 120 de dos ejes
Mesa de ajuste angular ± 30 °C

Juego de patrones


Interferómetro de luz blanca:

Objetivos WLI de 2,5 x 0,075;  5 x 0,13;  10 x 0,3;  20 x 0,4;  50 x 0,55;  100 x 0,7

Opcional:
  • Con amortiguación de oscilaciones activa para la mejor amortiguación posible de las vibraciones a fin de realizar mediciones en el rango de los nanómetros y los subnanómetros

  • Sistema de sensores, formado por:
    • Cabezal del sensor WLI
    • Cámara de 768 píxeles x 582 píxeles, hasta 48 imágenes/s
    • Eje Z de 100 µm con accionamiento piezoeléctrico
    • Módulo de software WLI, software "Inspector"
  • Base de granito y columna con posicionamiento manual en Z del sistema de sensores
  • Mesa portadora XY manual para el posicionamiento de las muestras
  • Objetivo 20 x 0,4 con luz transmitida (interferómetro de luz blanca)