Métrologie
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MarForm MFU 200 Aspheric 3D Poste de mesure 3D haute précision
FR
La MarForm MFU 200 Aspheric 3D a été développée par Mahr dans le but de contrôler des composants optiques rapidement et à proximité de la production, en 2D et en 3D. Les machines de mesure MarForm sont renommées depuis des décennies pour leur précision et leur stabilité.
Avec MarForm MFU 200 Aspheric 3D, cette expérience est désormais accessible également au secteur optique.

Précision
MarForm MFU 200 Aspheric 3D met à disposition un appareil de mesure haute précision, qui, grâce à sa très faible incertitude, est idéal pour répondre aux exigences d'optimisation des processus.

Principe de mesure
MarForm MFU 200 Aspheric 3D permet de mesurer la topographie de composants optiques. Naturellement, il permet également une mesure 2D rapide avec un palpage au-dessus du zénith de la lentille. Pour la mesure 3D, deux profils linéaires décalés de 90° sont tout d'abord mesurés en un déroulement au-dessus du zénith de la lentille. Ensuite, plusieurs profils circulaires concentriques sont enregistrés, par rotation de l'axe C. Ces points de mesure servent à créer une topographie. La possibilité de positionner librement le bras de palpage permet de mesurer des surfaces interrompues.
L'utilisation du poste de mesure dans une cabine isolée des vibrations permet de tenir à distance des objets à mesurer les influences perturbatrices extérieures telles que les vibrations et les impuretés.

Déroulement de la mesure
Avant la mesure, choisir le type de forme théorique et régler les paramètres de la lentille théorique attendue. À l'étape suivante, les données de mesure de mesure sont enregistrées et comparées aux les données théoriques de la lentille.
Les paramètres affichés sont les valeurs RMS, PV et l'erreur d'inclinaison (Slope Error).
Dans le logiciel, il est possible d'ajuster les différents paramètres des asphères aux résultats de mesure, tels que le rayon de courbure R0, la constante conique K et les coefficients asphériques Ai lors de l'ajustage de l'asphère théorique dans l'asphère Fit.
La topographie différentielle entre les valeurs obtenues et la lentille théorique sont indiqués comme une image en hauteur à codage par couleurs. Les sections D2 et la topographie différentielle peuvent alors être exportés dans des formats connus en vue de la correction pour la machine de traitement.
En plus de la mesure de sphères et d'asphères suivant la description ci-dessus, il est également possible de mesurer et d'analyser des objets symétriques en rotation à l'aide de la forme théorique comme description de section conique ou de flèche ou d'un nuage de points 3D.
  • Données techniques

Écart de circularité (µm+µm/mm hauteur de mesure)
0,01 + 0,0002
Écart de circularité ((µm+µm/mm hauteur de mesure)**
0,02 + 0,0004
Écart de battement axial (µm+µm/mm rayon de mesure) *
0,02 + 0,0002
Écart de battement axial (µm+µm/mm rayon de mesure) **
0,04 + 0,0004
Table de centrage et de nivelage
automatique
Diamètre de la table (mm)
180
Charge maximale de la table, au centre (N)
200
Vitesse de rotation (1/min) 50 Hz / 60 Hz
0,1 à 200
Écart de rectitude / course de mesure 100 mm (μm)**, axe Z
0,1
Écart de rectitude /course de mesure totale (μm)**, axe Z
0,3
Écart de parallélisme axes Z/C dans la direction de palpage (μm)
0,6
Vitesse de mesure (mm/s), axe Z
0,1 à 50
Vitesse de positionnement (mm/s), axe Z
0,1 à 50
Écart de rectitude /course de mesure totale (μm)**, axe X
0,3
Perpendicularité axe X / C (µm)
0,3
Vitesse de positionnement (mm/s), axe X
0,1 à 50
Vitesse de mesure (mm/s), axe X
0,1 à 50