Métrologie
Métrologie
MarSurf CWM 100
FR
MarSurf CWM 100, appareil de mesure optique haute précision piloté par ordinateur doté d'une résolution au subnanomètre près. Système de mesure 3D combiné constitué d'un microscope confocal et d'un interféromètre en lumière blanche
  • Précision extrême, résolution au subnanomètre près
  • Universel pour surfaces techniques, optiques et réfléchissantes et surfaces de circuits imprimés et produits à semi-conducteurs et tissus biologiques
  • Analyse de surface 2D et analyses de mesure
  • Analyse topographique de surface 3D et analyses de valeurs de mesure
  • Mesures rapides - durées de mesure réduites
  • Tailles de champ microscopiques, agrandissables simplement par processus stitching entièrement automatique
  • Positionnement automatique de la table et de l'objet : 100 mm x 100 mm, courses plus longues sur demande
  • Le grand choix d'objectifs permet un ajustement optimal à l'objet à mesurer
  • Structure massive à plaque de base en granit et colonne en granit pour un amortissement optimal des vibrations
  • Logiciel d'analyse professionnel basé sur MoutainsMap©
  • Données techniques
  • Applications
  • Accessoires
  • Expédition

Principe de mesure
Interférométrique, interférométrique en lumière blanche et confocal
Source lumineuse (KFM et WLI) : LED haute puissance, 505 nm
Étendue de mesure mm
Unité de capteur déplaçable de 100 mm en Z, commande par CNC
Table d'objet déplaçable de 100 mm en X et en X, commande par CNC

Interféromètre, interféromètre en lumière blanche :
étendue de mesure (lumière blanche) : plus de 4 mm (mode standard), plus de 20 mm en mode étendu

Microscope confocal :
étendue de mesure (microscope confocal) : jusqu'à 10 mm (en fonction de la résolution en Z et de l'objectif)
Raccordements
230 V, 50 Hz

Construction mécanique
Surfaces métalliques de tout type (meulées, laminées, etc.), ainsi que surfaces structurées par laser, surfaces en céramique et en plastique, surface de moules

Médecine
Surfaces métalliques, en céramique et en plastique d'implants, de prothèses et d'instruments

Électronique

Analyse de surface de revêtements, mesure et analyse de composants électroniques et semi-conducteurs

Optique

Analyse de forme et de rugosité de différents composants optiques (tous matériaux)

Table de nivelage CT 120 à deux axes

Table de réglage angulaire +/- 30°

jeu d'étalons

Microscope confocal :
10x0,3 / 20x0,4
Objectifs pour microscope confocal10x0,5 ;  20x0,75 ;  50x0,6 ; 50x0,8 ;  100x0,9 ;  D'autres objectifs pour microscope confocal sont disponibles sur demande, également en cas de distance de travail particulièrement grande

Interféromètre en lumière blanche :

Objectifs pour interféromètre en lumière blanche 2,5x0,075 ;  5x0,13 ;  10x0,3 ;  20x0,4 ;  50x0,55 ;  100x0,7

  • Système de capteurs comprenant :
    • Microscope confocal KFM avec objectif revolver 6x
    • Caméra 780 pixels x 580 pixels, jusqu'à 48 images/s (version standard)
    • Axe Z de 100 mm à commande CNC avec règle en verre Heidenhain intégrée
    • Module logiciel lumière blanche, logiciel « Inspector »
  • Châssis granit et colonne avec capteurs et table d'objet à commande CNC
  • Commande à plusieurs axes motorisée pour l'axe Z et la table XY, pour le positionnement de l'échantillon et le recoupement du champ (« Stitching »)
  • Objectifs (en option) :
    • 4x à 150x (microscope confocal)
    • 2,5x à 100x (interféromètre en lumière blanche)