Métrologie
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MarSurf WM 100 3D Surface Measurement
FR
MarSurf CWM 100, appareil de mesure optique haute précision doté d'une résolution et d'une précision de mesure au subnanomètre près. Un système de mesure 3D à interféromètre en lumière blanche :
  • Précision extrême, résolution au subnanomètre près et précision de mesure
  • Universel pour surfaces optiques et réfléchissantes, surfaces techniques fines, surfaces de circuits imprimés et produits à semi-conducteurs et tissus biologiques
  • Trois modes de mesure : VSI, EPSI et PSI
  • Procédure d'analyse pour λ/2 niveaux
  • Analyse de surface 2D et analyses de mesure
  • Analyse topographique de surface 3D et analyses de valeurs de mesure
  • Mesures rapides - durées de mesure réduites
  • Positionnement manuel du plateau et de l'objet avec jusqu'à 4 axes
  • Le grand choix d'objectifs permet un ajustement optimal à l'objet à mesurer
  • Structure stable avec plaque de base en granit
  • Logiciel d'analyse professionnel basé sur MoutainsMap©
  • Données techniques
  • Applications
  • Accessoires
  • Expédition

Principe de mesure
Interférométrique, interférométrique en lumière blanche
Source lumineuse (WLI) : LED haute puissance, 505 nm
Étendue de mesure mm
Unité de capteur au-dessus de 200 mm déplaçable manuellement en Z
Plateau de pièce déplaçable manuellement en X et Y

Interféromètre, interféromètre en lumière blanche :
Étendue de mesure (WLI) : jusqu'à 100 mm (verticalement)
Raccordements
230 V, 50 Hz

Construction mécanique
Surfaces métalliques fines de tout type (meulées, laminées, etc.), ainsi que surfaces structurées par laser, surfaces fines en céramique et en plastique, surface de moules

Médecine
Surfaces métalliques, en céramique et en plastique d'implants, de prothèses et d'instruments

Électronique

Analyse de surface de revêtements, mesure et analyse de composants électroniques et semi-conducteurs

Optique

Analyse de rugosité d'éléments optiques (tous types, tous matériaux)

Table de nivelage CT 120 à deux axes

Table de réglage angulaire +/- 30°

Jeu d'étalons


Interféromètre en lumière blanche :

Objectifs lumière blanche 2,5x0,075 ;  5x0,13 ;  10x0,3 ;  20x0,4 ;  50x0,55 ;  100x0,7

En option :
  • Avec amortissement des vibrations actif pour le meilleur amortissement possible des vibrations pour la mesure dans la plage du nanomètre et du subnanomètre

  • Système de capteurs comprenant :
    • Tête de capteur lumière blanche
    • Caméra 1280x1024 pixels, jusqu'à 169 images/s
    • Axe Z de 100 µm avec entraînement piézoélectrique
    • Module logiciel lumière blanche, logiciel « Inspector »
  • Base granit et colonne avec positionnement manuel des capteurs en Z
  • Table d'objet XY manuelle pour le positionnement de l'échantillon
  • Objectif 20x0,4 DI (interféromètre en lumière blanche)