Metrologia
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MarSurf CWM 100 3D Surface Measurement
IT
La soluzione di misura multipla
Lo strumento di misura ottico ad alta precisione MarSurf CWM 100 offre una risoluzione subnanometrica nell'ambito di un sistema di misura 3D combinato costituito da un microscopio confocale e da un interferometro a luce bianca.

Vantaggi principali:
  • Massima precisione con risoluzione subnanometrica
  • Adatto a tutti i tipi di superfici tecniche, ottiche e riflettenti, superfici di basette per circuiti stampati e prodotti a semiconduttori e a tessuti biologici
  • Analisi 2D della superficie e analisi dei dati rilevati
  • Analisi topografica 3D della superficie e analisi dei dati rilevati
  • Misurazioni rapide - brevi tempi di misura
  • Dimensioni microscopiche del campo di immagine, facilmente ampliabili tramite processo di stitching completamente automatico
  • Posizionamento automatico della tavola o del pezzo: 100 mm x 100 mm
  • Il vasto assortimento di obiettivi consente il perfetto aggiustamento in base all'oggetto di misura
  • Solida costruzione con piastra base in granito e colonna in granito per la massima ammortizzazione delle vibrazioni
  • Dati tecnici
  • Applicazioni
  • Accessori
  • Standard di fornitura

Principio di misurazione
Interferometrico, interferometria a luce bianca e confocale
Sorgente luminosa (CM e WLI): LED ad alta potenza, 505 nm
Campo di misura mm
Unità sensore traslabile in Z di 100 mm, a controllo CNC
Tavola portapezzo traslabile in X e Y di 100 mm, a controllo CNC

Interferometro, interferometro a luce bianca:
Campo di misura (interferometro a luce bianca): Oltre 4 mm (modalità standard), oltre 20 mm in modalità estesa

Microscopio confocale:
Campo di misura (CM): fino a 10 mm (in base alla risoluzione in Z e all’obiettivo)
Collegamenti
230 V, 50 Hz

Costruzioni meccaniche
Qualificazione e quantificazione di rugosità, geometria e volume di usura

Elettronica e semiconduttori
Ispezione submicrometrica dei componenti per ottenere prodotti perfetti

Tecnologia medica
Controllo di qualità su superfici di dispositivi medicali durante la produzione e in laboratorio

Scienza dei materiali
Ottimizzazione delle caratteristiche funzionali di nuove superfici e nuovi prodotti

Tecnologia dei microsistemi
Misura di geometrie di superfici complesse di microcomponenti con precisione nanometrica

Su richiesta:
  • tavola basculante CT 120 a due assi
  • Tavola di regolazione angolo +/- 30°
  • Set di campioni
  • Obiettivi WLI
    2,5x0,075;  5x0,13;  10x0,3;  20x0,4;  50x0,55;  100x0,7
  • Obiettivi per microscopi confocali
    10x0,3;
    10x0,5; 20x0,4;  20x0,75;  50x0,6; 50x0,8;  100x0,9
  • MarSurf MfM per l'analisi professionale, la rappresentazione grafica e la creazione di rapporti
    (versione Standard, Extended o Premium, a scelta)
  • Sistema antivibrante attivo
    (per la massima ammortizzazione delle vibrazioni nelle misure nanometriche e subnanometriche)

Sensori, costituiti da:
  • microscopio confocale & WLI con torretta portaobiettivi 6x
  • telecamera 780 pixel x 580 pixel, fino a 48 immagini/s (versione standard)
  • asse Z con controllo CNC con riga ottica Heidenhain integrata 100 mm
  • modulo software "Inspector"
  • base in granito e colonna con sensori e tavola portapezzo a controllo CNC
  •  controllo multiasse per asse Z e tavola XY per il posizionamento del campione e l'unione dei campi visivi ("stitching")
  • Obiettivi (opzionali):
    -
    da 4x a 150x (microscopio confocale)
    -
    da 2,5x a 100x (interferometro a luce bianca)