計測技術
計測技術
MarForm MFU 200 Aspheric 3D 精密な 3D 測定ステーション
JA
Mahr 社は、光学部品を生産条件に近い状態で2次元および3次元で素早く検査する MarForm MFU 200 Aspheric 3D を開発しました。MarForm 測定器は、その精度と安定性が何十年もの間認められています。
MarForm MFU 200 Aspheric 3D なら、これまでの経験を光学工業分野で利用可能にしました。

精度
MarForm MFU 200 Aspheric 3D は、プロセス最適化要件に対応するとともに、測定エラーが少ない精密測定器です。

測定原則
MarForm MFU 200 Aspheric 3D は、光学部品のトポグラフィーを測定します。もちろん、クイック 2D 測定によりレンズの頂点全体でプロファイルを記録できます。90° でオフセットされた 3D 測定の2線プロファイルは、最初の1回の手順でレンズの頂点間で測定されます。複数の同心極のプロファイルは、C軸の回転で記録されます。これらの測定点はトポグラフィーの生成に使われます。完全制御式のプローブアームなら、中断された表面が測定可能です。
測定ステーションを振動防止キャビネット内で使用して、測定対象物への外部干渉(振動や汚れ)がないようにします。

測定手順
測定を開始する前に、形状と基準レンズ用のパラメータを選択します。次のステップでは、測定データを記録して、レンズの公称データと比較します。
RMS 弁、PV 弁、および傾斜誤差は、パラメータとして記されます。
ソフトウェアでは、非球面にフィットするよう公称非球面を調整する際の測定結果に対して非球面に対する個々のパラメータ(曲率半径 R0、円錐定数 k および非球面係数 Ai など)を調整できます。
測定値と公称レンズ間の地形の違いは、カラーコード化された折れ線グラフで表示されます。2D プロファイルと差動地形は、既知の形式にエクスポートして、マシンツールで訂正することができます。
球体の測定に加えて、円錐形のプロファイルまたは 3D の散布のサジッタ説明名目のフォームを使用して、他の回転軸に対称なオブジェクトを測定および評価することができます。
  • 技術データ

真円度偏差 (µm+µm/mm 測定高さ) *
0,01 + 0,0002
真円度偏差 (µm+µm/mm 測定高さ) **
0,02 + 0,0004
軸振れ偏差 (µm+µm/mm測定半径) *
0,02 + 0,0002
軸振れ偏差 (µm+µm/mm測定半径) **
0,04 + 0,0004
傾斜・位置決めテーブル
自動
テーブル径 (mm)
180
テーブルの積載重量、中心 (N)
200
速度 (rpm) 50 Hz / 60 Hz
0.1 ~ 200
真直度の誤差寸法/ 100 mm 測定パス (µm)**、Z軸
0.1
真直度の誤差寸法/合計測定パス (µm)**、Z軸
0.3
トレース方向における Z-/C-軸の平行度 (µm)
0.6
測定速度 (mm/s)、Z軸
0.1 ~ 50
位置決め速度 (mm/s)、Z軸
0.1 ~ 50
真直度の誤差寸法/合計測定パス (µm)**、X軸
0.3
X-/C-軸の直角度 (µm)
0.3
位置決め速度 (mm/s)、X軸
0.1 ~ 50
測定速度 (mm/s)、X軸
0.1 ~ 50