計測技術
計測技術
MarForm MFU 200 Aspheric 3D 輪郭・形状測定機
JA
Mahr 社は、光学部品を生産現場で素早く2D / 3D測定できる MarForm MFU 200 Aspheric 3D を、 MarForm MFU 200 の技術を基に開発しました。

自動車業界等で高精度形状測定機として広く使用されている MarForm MFU 200 の技術と経験を、MarForm MFU 200 Aspheric 3D は光学分野に応用しました。

精度
MarForm MFU 200 Aspheric 3D は測定エラーが少なく、プロセスの最適化要件に対応できる精密測定機です。

測定原則
MarForm MFU 200 Aspheric 3D は、光学部品のトポグラフィーを測定します。
クイック 2D 測定によりレンズの全天頂にわたりプロファイルを取得。3D 測定では、90°ずれた2つの直線プロファイルを取得し、全天頂にわたり単一シーケンスで測定を行います。
さらに、C軸を回転させることで、複数の同心円状のプロファイルが記録されます。
これらの測定点はトポグラフィーの生成に使われます。
位置決め可能なプローブアームにより、断続的な表面の測定も可能です。
防振キャビネット内で測定機を使用すると、振動や汚れなどの外部干渉から測定物を保護することができます。
操作と分析には、MarWin ソフトウエアを使用します。

測定手順
測定を開始する前に、形状を選択し、基準レンズのパラメータを設定してください。
次のステップで、測定データが記録され、基準レンズのノミナル値と比較されます。
RMS、PV、および傾斜誤差がパラメータとして表示されます。
ソフトウェアでは、ノミナル非球面レンズを適合非球面レンズにあわせて調整する際に、非球面の個々のパラメータ(曲率半径 R0、円錐定数 k、非球面係数 Aiなど)を測定結果に合わせて調整できます。
測定値とノミナルレンズ間のトポグラフィーの差異は、色分けされた折れ線グラフで表示されます。
2D プロファイルおよびトポグラフィの差分は、工作機械補正用に各種フォーマットでエクスポートできます。
球面および非球面の測定に加えて、その他の回転対称形状の測定物も、ノミナル形状を円錐プロファイルまたは3D散布図のサジタルデータとして使用することにより、測定および評価することができます。
  • 技術データ

真円度偏差 (µm+µm/mm 測定高さ) *
0,01 + 0,0002
真円度偏差 (µm+µm/mm 測定高さ) **
0,02 + 0,0004
軸振れ偏差 (µm+µm/mm測定半径) *
0,02 + 0,0002
軸振れ偏差 (µm+µm/mm測定半径) **
0,04 + 0,0004
傾斜・位置決めテーブル
自動
テーブル径 (mm)
180
テーブルの積載重量、中心 (N)
200
速度 (rpm) 50 Hz / 60 Hz
0.1 ~ 200
真直度の誤差寸法/ 100 mm 測定パス (µm)**、Z軸
0.1
真直度の誤差寸法/合計測定パス (µm)**、Z軸
0.3
トレース方向における Z-/C-軸の平行度 (µm)
0.6
測定速度 (mm/s)、Z軸
0.1 ~ 50
位置決め速度 (mm/s)、Z軸
0.1 ~ 50
真直度の誤差寸法/合計測定パス (µm)**、X軸
0.3
X-/C-軸の直角度 (µm)
0.3
位置決め速度 (mm/s)、X軸
0.1 ~ 50
測定速度 (mm/s)、X軸
0.1 ~ 50