計測技術
計測技術
MarOpto TWI 60 Tilted Wave 干渉計
JA
非球面レンズの迅速かつ柔軟な測定・解析に最適な Tilted Wave 干渉計
Tilted Wave 干渉計(MarOpto TWI 60)は、高速・高精度に非球面レンズの形状を測定できる、新しく柔軟性の高い干渉計です。
上部右側の図は、A5デモンストレータの非球面で測定された表面偏差(自由開口部50 mm、最適半径40.8 mm、最適球面からの偏差600 µm、傾斜角度偏差8°)を示しています。
水平方向の分解能は約30 µm。
約30秒という短時間で測定データを取得し、非球面レンズの全表面を高分解能で、高精度に測定します。
形状測定にCGH (Computer Generated Hologram)・スティッチングの必要がありません
  • 非球面レンズを干渉法で測定、CGHは不要です
  • スティッチングなしで測定可能
  • 約30秒という短時間で測定データを取得
  • ビーム径 100 mm
  • 最大非球面偏差 1.5 mm (最適球面比)