計測技術
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MarSurf LD 130 / 260 Aspheric 2D und 3D 形状・粗さ測定機
JA
MarSurf LD 130 / LD260で測定の新しい次元へ。
MarSurf LD 130/260 Asphericは、光学部品表面の形状・粗さをワンストップで高精度に測定可能な2D / 3D 形状・粗さ測定機です。操作と分析には MarWinソフトウエアを使用。
機械加工作業の初期段階でトポグラフィをチェック
  • 許容範囲からの逸脱を早期に検出し、やり直しによるコスト負担を回避します
  • 工作機械補正用の差分プロファイル出力

柔軟性の向上
  • 一台で、さまざまな種類の回転対称な非球面レンズを測定可能。 追加投資は不要です
  • 最大260 mm(スティッチングオプションで最大400 mm)の広い測定範囲
  • 最大測定速度とダイナミクス(大型レンズ測定時:最大10 mm / s、マイクロレンズ測定時:最大0.02 mm / s)
  • 位置決め可能なスタイラスチップ

バイオニックデザインのLP D プローブアーム
  • 高い剛性・振動挙動の低減および慣性モーメントの低下により、プローブシステムのダイナミクスが向上:
    - 統合設計による最適化されたプローブシステム
    - 統合設計による最適化されたプローブシステム
  • チップ内蔵のプローブアーム:
    - プローブアームの検出と識別
    - プローブアームが確実に取付けられているかを確認
    - プローブアームからの情報を取得

MarSurf LD 130 / LD260の特長
  • MarSurf LD 130/260は、測定物を高精度に正確に測定
    垂直方向の解像度 0.8 nm、形状偏差< 100 nm の高精度で、非球面レンズの正確な複製が可能
  • プローブアーム交換時の再校正が不要
  • 急勾配なレンズも測定可能