計測技術
計測技術
MarSurf CWM 100
JA
サブナノメータ分解能を実現する高精度のコンピュータ制御型光学測定機 MarSurf CWM 100。共焦点顕微鏡白光干渉計で構成される複合型 3D 測定システム
メリット
  • 物理的な限界まで微小な表面の特徴を再生させる専用の特殊顕微鏡技術
  • 高速で信頼性の高い結果をもたらすビデオリアルタイム技術による表面スキャニング
  • 幅広い高品質の対象物
  • エレメントおよび構造の地形、高さ、形状、位置の測定
  • 頑丈、メンテナンスが簡単、長い耐用年数用の構築
  • 技術データ
  • 用途
  • アクセサリ
  • 発送

測定原則
干渉計(白光干渉計および共焦点)による
光源 (KFM および WLI):高出力 LED、505 nm
測定範囲
Z軸のセンサーユニットはCNC制御で100mm移動可能
X および Y のオブジェクトテーブルは 100 mm 移動可能、CNC 制御

干渉計、白光干渉計:
測定範囲 (WLI):最大 4 mm (レンズによる)

共焦点顕微鏡:
測定範囲 (KFM):最大 800 µm (Z の分解能とレンズによる)
インタフェース
230 V, 50 Hz

マシン構築
あらゆる種類の金属面(切削、ロールなど)、およびレーザー加工面、セラミックおよびプラスチック面、金型表面

医療
インプラント、義歯、測定機の金属、セラミック、プラスチック表面

電装品

電子および半導体コンポーネントの接点、測定、分析用表面分析

光装置

様々な光学部品の形状および粗さ分析(全素材対象)

CT 120 2軸傾斜台

設定テーブル角度 +/- 30°

標準セット

共焦点顕微鏡:

KFM 対物レンズ 10x0.5; 20x0.75; 50x0.6 (オブジェクトテーブルとワークピースの間に 11 mm の隙間); 50x0.8; 100x0.9

白光干渉計:

WLI 対物レンズ 2.5x0.075; 5x0.13; 10x0.3; 20x0.4; 50x0.55; 100x0.7

  • センサーシステム、構成:
    • 共焦点顕微鏡 KFM、6x ノーズピース付き
    • カメラ、768 x 582 ピクセル、毎秒最大 48 画像
    • 100 mm CNC制御Z軸、統合型ハイデンハインガラススケール
    • WLI ソフトウェアモジュール、「Inspector」ソフトウェア
  • センサーシステムの花こう岩ベースのフレームとカラム、CNC 制御のオブジェクトテーブル
  • Z軸とXYテーブルをモータ駆動式多軸制御してプローブの位置決めと画像フィールドの結合を実施
  • 50x0.8 EPI レンズ(共焦点レーザー顕微鏡)
  • 20x0.4 DI レンズ(白光干渉計)