計測技術
計測技術
MarSurf WM 100
JA
サブナノメータ分解能および測定精度を実現する高精度の光学測定機 MarSurf WM 100。3D 白光干渉計測定システム。
  • サブナノメータと測定精度により実現される最大限の精度
  • すべての光学および反射面の代替、細かい技術面、回路基板、半導体製品、生体組織の表面など)
  • 2D 表面分析と測定評価
  • トポグラフィー 3D 表面分析と測定評価
  • 高速測定 #96 短時間測定
  • 手動テーブルとオブジェクト位置決め、最大4軸
  • 対象物を測定するために最適な調整を行う幅広いレンズの選択
  • 花こう岩ベースプレートの頑丈なデザイン
  • MountainsMap© ベースの専用評価ソフトウェア
  • 技術データ
  • 用途
  • アクセサリ
  • 発送

測定原則
干渉計(白光干渉計)による
光源 (WLI):高出力 LED、505 nm
測定範囲
Z軸のセンサーユニットは手動で200mm以上移動可能
X および Y のオブジェクトテーブルは手動で移動可能

干渉計、白光干渉計:
測定範囲 (WLI):最大 100 µm (縦)
インタフェース
230 V, 50 Hz

マシン構築
あらゆる種類のファインメタルの表面(切削、ロールなど)、およびレーザー加工面、ファインセラミックおよびプラスチック面、金型表面

医療
インプラント、義歯、測定機の金属、セラミック、プラスチック表面

電装品

電子および半導体コンポーネントの接点、測定、分析用表面分析

光装置

様々な光学部品の粗さ分析(全素材対象)

CT 120 2軸傾斜台
設定テーブル角度 +/- 30°

標準セット


白光干渉計:

WLI 対物レンズ 2.5x0.075; 5x0.13; 10x0.3; 20x0.4; 50x0.55; 100x0.7

オプション:
  • ナノメートルまたはサブナノメートル範囲の測定におけるアクティブ防振

  • センサーシステム、構成:
    • WLI センサーヘッド
    • カメラ、768 x 582 ピクセル、毎秒最大 48 画像
    • 100 µm Z軸(ピエゾドライブ)
    • WLI ソフトウェアモジュール、「Inspector」ソフトウェア
  • 花こう岩ベースとカラムとセンサーシステムの手動位置決め
  • プローブ位置決め用手動XYオブジェクトテーブル
  • 20x0.4 DI レンズ(白光干渉計)