계측 솔루션
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MarForm MFU 200 Aspheric 3D 정밀 3D 측정 스테이션
KO
Mahr는 생산 환경 근처에서 광학 부품을 2D / 3D로 신속 테스트하기 위해 MarForm MFU 200 Aspheric 3D를 개발했습니다. MarForm 측정기는 수십 년간 정확성과 안전성으로 이름을 떨쳤습니다.
이제 광학 산업에서도 MarForm MFU 200 Aspheric 3D를 사용할 수 있습니다.

정확도
MarForm MFU 200 Aspheric 3D는 공정 최적화 요건에 꼭 맞는 지극히 낮은 측정 불확도가 특징인 정밀 측정기기입니다.

측정 원리
MarForm MFU 200 Aspheric 3D는 광학 부품의 토포그래피를 측정합니다. 물론 렌즈 정점을 가로지르는 프로파일로 신속한 2D 측정도 기록할 수 있습니다. 3D 측정의 경우 2개의 선형 프로파일 옵셋이 한 번에 렌즈 정점을 90°로 가로지르며 먼저 측정합니다. 그리고 나서 C-축을 회전시켜 여러 개의 동심원 극방향 프로파일을 기록합니다. 토포그래피 생성에 이러한 측정점을 사용합니다. 완전히 위치시킬 수 있는 프로브 암으로 중단 표면을 측정할 수 있습니다.
진동 쿠션 처리된 캐비닛에서 측정 스테이션을 이용하면 측정 객체에서 먼지를 떨어내고 먼지 같은 외부 간섭을 유지합니다.

측정 절차
측정을 시작하기 전에 명목 형상 유형을 선택하고 예상 참조 렌즈의 파라미터를 설정하십시오. 다음 단계에서 측정 데이터를 기록하고 렌즈의 명목 데이터와 비교합니다.
RMS 값, PV 값, 경사 오류 등이 파라미터로 표시됩니다.
소프트웨어에서 곡률 R0, 원뿔 상수 k, 비구면 계수 Ai 같은 비구면에 대한 개별 파라미터는 비구면에 맞추기 위해 명목 비구면을 조정할 때 측정 결과에 따라 조정 가능합니다.
측정값과 명목 렌즈 간의 토포그래피 편차가 컬러 선 차트로 표시됩니다. 그러면 알려진 형식으로 2D 프로파일과 편차 토포그래피를 내보내 전동 공구 교정에 활용할 수 있습니다.
위에 기술한 구면 및 비구면 측정 외에도 명목 형상을 3D 스캐터 플롯의 Sagitta 설명이나 원뿔형 프로파일로 이용하면 다른 회전식 대칭 객체도 측정 및 평가할 수 있습니다.
  • 기술 데이터

진원도 편차 (µm+µm/mm 측정 높이) *
0,01 + 0,0002
진원도 편차 (µm+µm/mm 측정 높이) **
0,02 + 0,0004
축방향 흔들림 편차 (µm+µm/mm 측정 반지름) *
0,02 + 0,0002
축방향 흔들림 편차 (µm+µm/mm 측정 반지름) **
0,04 + 0,0004
센터링 및 틸팅 테이블
자동
테이블 지름 (mm)
180
테이블 허용 하중, 중심(N)
200
속도 (rpm) 50 Hz / 60 Hz
0.1 ~ 200
진직도 편차 / 100 mm 측정 경로 (µm)**, Z-축
0.1
진직도 편차 / 전체 측정 경로 (µm)**, Z-축
0.3
측정 방향에서 평행도 편차 Z-/C-축 (µm)
0.6
측정 속도 (mm/s), Z-축
0.1 ~ 50
위치 이동 속도 (mm/s), Z-축
0.1 ~ 50
진직도 편차 / 전체 측정 경로 (µm)**, X-축
0.3
직각도 X-/C-축 (µm)
0.3
위치 이동 속도 (mm/s), X-축
0.1 ~ 50
측정 속도 (mm/s), X-축
0.1 ~ 50