계측 솔루션
계측 솔루션
MarSurf CWM 100
KO
서브 나노미터 해상도를 지원하는 정밀 컴퓨터 제어식 광학 측정기기 MarSurf CWM 100. 통합 3D 측정 시스템 - 공초점 현미경 백색광 간섭계로 구성
이점
  • 물리적 한계까지 아주 작은 표면 특성의 재현하기 위한 특수 현미경 기술
  • 빠르고 믿을 수 있는 결과를 위한 비디오 실시간 기술에서의 표면 스캔
  • 광범위한 최고 품질의 객체 선택 옵션
  • 요소와 구조의 토폴로지, 높이, 형상 및 위치 측정
  • 견고성, 적은 유지보수, 긴 서비스 수명
  • 기술 데이터
  • 응용 분야
  • 부속품
  • 선적

측정 원리
간섭계 기준, 백색광 간섭계 및 공초점 기준
광원(KFM 및 WLI): 고출력 LED, 505 nm
측정 범위
센서 장치를 Z에서 100 mm 이동 가능, CNC 제어
객체 테이블을 X 및 Y에서 100 mm 이동 가능, CNC 제어

간섭계, 백색광 간섭계:
측정 범위 (WLI): 최대 4 mm (렌즈에 따라 다름)

공초점 현미경:
측정 범위 (KFM): 최대 800 µm (Z 및 렌즈의 해상도에 따라 다름)
인터페이스
230 V, 50 Hz

기계 제작
모든 종류의 금속 표면(연삭, 롤형 등), 레이저 구조 표면, 세라믹 및 플라스틱 표면, 성형 표면

의료
임플란트, 보철, 기구의 금속, 세라믹 및 플라스틱 표면

전자장치

코팅의 표면 분석, 전자장치 및 반도체 구성품의 측정 및 분석

광학장치

다양한 광학 구성품(모든 재질)의 형상 및 거칠기 분석

CT 120 2축 틸팅 테이블

세팅 테이블 각도 +/- 30°

표준 세트

공초점 현미경:

KFM 대물렌즈 10x0.5; 20x0.75; 50x0.6(객체 테이블과 측정물 사이의 11 mm 간격 포함); 50x0.8; 100x0.9

백색광 간섭계:

WLI 대물렌즈 2.5x0.075; 5x0.13; 10x0.3; 20x0.4; 50x0.55; 100x0.7

  • 센서 시스템 구성:
    • 6x 대물부가 있는 공초점 현미경 KFM
    • 카메라, 768 x 582 픽셀, 최대 48 이미지/s
    • 100 mm CNC 제어 Z-축, 통합 Heidenhain 유리 스케일 포함
    • WLI 소프트웨어 모듈, "검사기" 소프트웨어
  • 센서 시스템 및 CNC 제어 객체 테이블을 포함한 화강암 베이스 프레임과 컬럼
  • 프로브 위치 이동 및 이미지 필드 병합을 위한 Z-축과 XY 테이블용 모터 구동식 멀티축 컨트롤
  • 50x0.8 EPI 렌즈 (공초점 현미경)
  • 20x0.4 DI 렌즈 (백색광 간섭계)