계측 솔루션
계측 솔루션
MarSurf WM 100
KO
서브 나노미터 해상도 및 측정 정확성을 지원하는 정밀 광학 측정기기 MarSurf WM 100. 3D 백색광 간섭계 측정 시스템.
  • 서브 나노미터 해상도 및 측정 정확도를 지원하는 최고의 정밀도
  • 모든 광학면과 반사면, 미세한 기술면, 회로판과 반도체 제품 및 생물 조직 등의 표면에 적합
  • 2D 표면 분석 및 측정 평가
  • 토포그래픽 3D 표면 분석 및 측정 평가
  • 신속 측정 #96 짧은 측정 시간
  • 최대 4축에서 수동 테이블 및 객체 위치이동
  • 다양한 렌즈 옵션으로 측정 객체 완벽 조정
  • 바닥판이 화강암인 튼튼한 디자인
  • MountainsMap© 기반의 전문적인평가 소프트웨어
  • 기술 데이터
  • 응용 분야
  • 부속품
  • 선적

측정 원리
간섭계 기준, 백색광 간섭계기준
광원 (WLI): 고출력 LED, 505 nm
측정 범위
센서 장치를 Z에서 200 mm 이동 가능
객체 테이블을 X 및 Y에서 수동 이동 가능

간섭계, 백색광 간섭계:
측정 범위 (WLI): 최대 100 µm (수직)
인터페이스
230 V, 50 Hz

기계 제작
모든 종류의 미세 금속 표면(연삭, 롤형 등), 레이저 구조 표면, 미세 세라믹 및 플라스틱 표면, 성형 표면

의료
임플란트, 보철, 기구의 금속, 세라믹 및 플라스틱 표면

전자장치

코팅의 표면 분석, 전자장치 및 반도체 구성품의 측정 및 분석

광학장치

다양한 광학 구성품(모든 재질)의 거칠기 분석

CT 120 2축 틸팅 테이블
세팅 테이블 각도 +/- 30°

표준 세트


백색광 간섭계:

WLI 대물렌즈 2.5x0.075; 5x0.13; 10x0.3; 20x0.4; 50x0.55; 100x0.7

옵션:
  • 나노미터와 서브 나노미터 범위의 측정값을 위한 최적의 감쇄용 활성 진동 감쇠

  • 센서 시스템 구성:
    • WLI 센서 헤드
    • 카메라, 768 x 582 픽셀, 최대 48 이미지/s
    • 100 µm Z-축, 피에조 드라이브 포함
    • WLI 소프트웨어 모듈, "검사기" 소프트웨어
  • 화강암 바닥과 칼럼, 수동 위치 이동형 센서 시트템
  • 프로브 위치 이동용 수동 XY 객체 테이블
  • 20x0.4 DI 렌즈 (백색광 간섭계)