계측 솔루션
계측 솔루션
MarSurf UD 130 윤곽선 및 표면 측정 스테이션 결합
KO

MarSurf UD 130
The MarSurf UD 130 closes the gap between the high-end solution MarSurf LD 130/LD 260 and the new standard combination measuring station MarSurf VD 140/280 with two probe systems.
The technical specifications of the MarSurf UD 130 are based on the interferometric probe system and the positioning speeds that reduce the measuring time for each workpiece.



  • 기술 데이터

측정 속도 (텍스트)
0.1 mm/s to 5 mm/s;
for roughness measurements
0.1 mm/s to 0.5 mm/s are recommended
해상도
2 nm
측정 길이 시작 (X)
0.1 mm
측정 길이 끝 (X)
130 mm
위치 이동 속도(텍스트)
0.1 mm/s to 30 mm/s
입력
Standard probe LP-D 14-10-2/60°
측정 범위

10 mm (100 mm probe arm)
20 mm (200 mm probe arm)

프로파일 해상도
2 nm
측정 길이 (텍스트)
0.1 mm to 130 mm
측정력 (N)
1 mN to 30 mN, software-adjustable