Технология измерений
Технология измерений
MarForm MFU 200 Aspheric 3D Прецизионная трехмерная измерительная система
RU
Компания Mahr разработала MarForm MFU 200 Aspheric 3D для того, чтобы обеспечить быстрый контроль оптических компонентов в двух и трех измерениях в производственных условиях. На протяжении десятилетий измерительные приборы MarForm отличаются точностью и стабильностью.
С появлением MarForm MFU 200 Aspheric 3D этими возможностями могут воспользоваться предприятия оптической отрасли.

Точность
MarForm MFU 200 Aspheric 3D является прецизионным измерительным прибором, который благодаря очень низкой неопределенности измерений идеально соответствует требованиям оптимизации технологического процесса.

Принцип измерения
MarForm MFU 200 Aspheric 3D измеряет топографию оптических компонентов. Прибор способен также выполнить быстрое двухмерное измерение с определением профиля линзы через точку максимума. Для создания трехмерных измерений сначала за один проход измеряются два линейных профиля, пересекающихся под углом 90° в точке максимума профиля линзы. После этого регистрируется множество концентрических профилей в полярных координатах путем вращения оси C. Эти точки измерений используются для создания топографии. Возможность измерения прерывистых профилей благодаря системе позиционирования щуповой консоли.
Благодаря тому, что измерительная система размещена в шкафу с виброгасящими опорами, измерительное оборудование защищено от внешних помех, таких как вибрации и загрязнения.

Процедура измерения
Перед началом измерений выберите тип номинальной формы и установите требуемые параметры эталонной линзы. Следующим этапом является запись данных измерений и их сравнение с номинальными характеристиками линзы.
В качестве параметров выводятся среднеквадратичное значение, высота неровностей профиля и отклонение наклона.
Программное обеспечение позволяет подстраивать отдельные параметры асферического профиля, такие как радиус кривизны R0, постоянная конусности k и коэффициенты асферичности Ai, под измеренные результаты при подстройке номинального асферического профиля под подогнанный асферический профиль.
Топография, построенная как разность между измеренными и номинальными значениями поверхности, отображается в виде линейной диаграммы с цветовой кодировкой. Двухмерные профили и дифференциальная топография могут быть экспортированы в известных форматах для внесения корректировок в станке.
Помимо измерения сферических и асферических профилей, как сказано ранее, возможно также измерение других осесимметричных деталей и их оценка при помощи номинальных данных, таких как конический профиль или заданных при помощи таблицы распределения стрелок прогиба в пространстве.
  • Технические характеристики

Отклонение от круглости (мкм + мкм/мм измер. высоты) *
0,01 + 0,0002
Отклонение от круглости (мкм + мкм/мм измер. высоты)**
0,02 + 0,0004
Торцовое биение (мкм+мкм/мм измер. радиуса)*
0,02 + 0,0002
Торцовое биение (мкм+мкм/мм измер. радиуса)**
0,04 + 0,0004
Стол с регулировкой центрирования и наклона
автоматический
Диаметр стола (мм)
180
Грузоподъемность стола, по центру (Н)
200
Скорость (об./мин) 50 Гц/60 Гц
От 0,1 до 200
Отклонение от прямолинейности на 100 мм хода (мкм)**, ось Z
0,1
Отклонение от прямолинейности на протяжении всего диапазона измерения (мкм)**, ось Z
0,3
Отклонение от параллельности осей Z/C в направлении трассирования (мкм)
0,6
Скорость измерения (мм/с), ось Z
0,1–50
Скорость позиционирования (мм/с), ось Z
0,1–50
Отклонение от прямолинейности для полного измерительного хода (мкм)**, ось X
0,3
Перпендикулярность осей X/C, измерительный ход (мкм)
0,3
Скорость позиционирования (мм/с), ось X
0,1–50
Скорость измерения (мм/с), ось X
0,1–50