Технология измерений
Технология измерений
MarSurf WM 100
RU
MarSurf WM 100 - трехмерная система измерения на базе интерферометра белого света. Это прецизионная оптическая измерительная система с разрешением и погрешностью измерения в субнанометровом диапазоне.
  • Максимальная точность с субнанометрической разрешающей способностью и точностью измерений
  • Подходит для всех оптических и отражающих поверхностей, поверхностей с точной обработкой и поверхностей печатных плат, полупроводниковых приборов и биологических тканей
  • Двухмерный анализ поверхности и оценка измерений
  • Топографический двухмерный анализ поверхности и оценка измерений
  • Быстрые измерения — меньшее время
  • Ручное позиционирование стола и объектов по 4 осям
  • Широкий выбор объективов для идеального совмещения с измеряемым объектом
  • Жесткая конструкция с гранитным основанием
  • Профессиональное программное обеспечение оценки на основе MountainsMap©
  • Технические характеристики
  • Области применения
  • Принадлежности
  • Доставка

Принцип измерения
Интерферометр, интерферометр белого света
Источник света (WLI): Светодиодная подсветка, 505 нм
Диапазон измерения в мм
Головка может перемещаться вручную на величину 200 мм по оси Z
Предметный стол можно перемещать вручную по осям X и Y

Интерферометр, интерферометр белого цвета:
Диапазон измерения (WLI): До 100 мкм (по вертикали) По запросу предоставляются модели с расширенным диапазоном измерения.
Интерфейсы
230 V, 50 Hz

Машиностроение
Все типы точных металлических поверхностей (шлифованные, прокат и др.), а также поверхности с лазерной обработкой, точные керамические и пластиковые поверхности, поверхности литых изделий

Медицина
Поверхности имплантатов, протезов и инструментов из металла, керамики и пластика

Электронная промышленность

Анализ поверхности покрытий, измерение и анализ электронных и полупроводниковых компонентов

Оптика

Анализ шероховатости различных оптических компонентов (все материалы)

Двухкоординатный наклонный стол CT 120
Угол настройки стола +/- 30°

Набор стандартов


Интерферометр белого цвета:

Объективы WLI 2,5x0,075;  5x0,13;  10x0,3;  20x0,4;  50x0,55;  100x0,7

По отдельному заказу:
  • Активная система подавления вибрации для оптимальных измерений в нанометрическом и субнанометрическом диапазоне

  • В составе сенсорной системы:
    • Головка WLI
    • Камера, 768 x 582 пикселей, до 48 кадров/с
    • Измерительная головка с диапазоном измерения 100 мкм по оси Z с пьезоприводом
    • Программный модуль WLI, программное обеспечение для управления
  • Гранитная станина и колонка с ручным позиционированием системы датчиков
  • Двухкоординатный предметный стол с ручным управлением для позиционирования при измерении
  • Объектив 20x0,4 DI (интерферометр белого света)