최소 소음, 최대 정밀도

간섭계와 Mahr의 차이점은 무엇입니까?
Thorsten Höring: 소위 ICA 기술이라는 새로운 유형의 알고리즘이 있습니다. 이것은 이전에 일반적으로 사용되었던 PSI 및 VSI 방법의 우수한 특성과 매우 높은 수직 분해능 및 광범위한 응용 프로그램을 결합합니다.

PSI와 VSI에 대해 간단히 설명해 주시겠습니까?
Thorsten Höring: 여기서 조금 돌아가야 합니다. 기존의 방법은 측정에 수직 주사(VSI) 또는 위상 편이 방법(PSI)을 사용합니다. VSI를 사용하면 무게 중심 방법을 사용하여 높이 값이 결정됩니다. 특성 곡선은 소위 "코렐로그램"을 형성합니다. 이 위에 포위선을 놓으면 가우스 분포를 얻고 무게 중심을 계산할 수 있습니다. 기본적으로 이 방법은 강력하고 빠르지만 정확한 결과로 이어지지는 않습니다.
반면에 위상 편이 방식, 줄여서 PSI는 더 높은 정확도를 나타냅니다. 그녀는 가장 큰 "위상차", 즉 명암 변화에 대해 상관도에서 찾습니다. 이 방법은 훨씬 더 정확하지만 훨씬 더 민감합니다.
이것은 Mahr의 백색광 간섭계와 다릅니다. 그들의 새로운 알고리즘은 PSI 및 VSI 방법의 우수한 특성을 단일 넓은 적용 영역에서 매우 높은 수직 분해능과 결합합니다.

ICA로 정확히 어떻게 측정합니까?
Thorsten Höring: MarSurf 계측 기록 소프트웨어를 사용하여 초점 영역이 스캔되고 소위 "이미지 스택", 즉 높이 정보가 포함된 이미지 스택이 기록됩니다. 이 스택은 컴퓨터 단층 사진의 스택과 유사합니다. 스택은 각 픽셀에 대해 개별적으로 평가되므로 XY 방향의 각 개별 데이터 포인트에 대해 평가됩니다.
"전형적인" 상관도는 이러한 모든 지점의 참조로 정의되며 XY 방향의 각 데이터 지점 평가를 위한 비교로 사용됩니다. 이러한 방식으로 신뢰할 수 있고 정확한 고도 값을 생성할 수 있습니다. 기준 신호는 측정된 간섭도를 따라 이동하고 가장 잘 일치하는 지점을 찾습니다. 그러면 이 위치에 따라 이 픽셀의 정확한 높이 값이 생성됩니다.

80피코미터의 저소음은 어떻게 됩니까?
Thorsten Höring: ICA를 통해 높이 값을 정확하게 결정할 수 있다는 사실은 노이즈가 동시에 최소화되어 매우 높은 데이터 품질을 보장한다는 것을 의미합니다. 이 매우 우수한 신호 대 잡음비 덕분에 Mahr 기술은 단 80피코미터(STR 표면 지형 반복성)로 PSI의 품질 수준을 달성하지만 훨씬 더 나은 안정성과 신뢰성을 제공합니다. 비교를 위해: 이전 보급형 장치의 STR은 약 150피코미터입니다. 최대의 신뢰성 외에도 새로운 Mahr 간섭계는 낮은 강도에서도 높은 역학을 제공합니다.

Mahr의 백색광 간섭계 제품군의 정확한 이름은 무엇입니까?
Thorsten Höring: MarSurf WI라고 하며 MarSurf WI 50 M, MarSurf WI 50 및 MarSurf WI 100</ >>. 이를 통해 연구 실험실 및 업계의 품질 보증은 나노미터 범위에서 가장 미세한 거칠기, 단계 높이 또는 수준을 단 몇 초 만에 결정하기 위해 선택할 수 있는 세 가지 강력한 장치를 갖게 됩니다.

Mahr는 촉각 및 공초점 시스템으로 유명합니다. 회사의 포트폴리오에 백색광 간섭계 시리즈가 포함된 이유는 무엇입니까?
Thorsten Höring: 백색광 간섭계를 통해 우리는 스펙트럼을 나노미터 미만 범위까지 확장했습니다. Mahr와 같은 측정 기술 전문가에게는 논리적인 결과일 뿐입니다.

백색광 간섭계는 정확히 무엇을 할 수 있으며 어떻게 작동합니까?
Thorsten Höring: 원칙적으로 백색광 간섭계는 크기가 수 나노미터에서 수 마이크로미터 사이인 구조의 3D 프로파일 측정을 가능하게 합니다. . 이 방법은 파동의 중첩 또는 간섭을 사용하여 크기를 결정합니다. 빛은 두 가지 경로를 따라 진행됩니다. 한 경로는 기준으로 연결되고 두 번째 경로는 측정할 표면으로 향합니다. 측정 대상에 초점이 맞춰져 있으면 파도가 더해져 강도가 최대가 됩니다. 초점이 맞지 않으면 파도가 서로 상쇄되어 최소 강도로 이어집니다. 이 정보에서 정확한 고도 값을 계산할 수 있습니다.

이 지역에서 어떤 표면이 측정되나요?
Thorsten Höring: 점점 더 많은 구성 요소가 매우 특별한 특성을 가진 표면을 가져야 합니다. 예를 들어 올바르게 초점을 맞추려면 렌즈 표면이, 신호를 빠르게 전송하려면 반도체 표면이 필요합니다. 또 다른 예로는 임플란트 또는 인공 관절이 있습니다. 이러한 관내인공삽입물의 표면은 다음과 같이 나노미터 정밀도로 연마되어야 합니다. , 금속 및 플라스틱 구성요소로 만들어진 무릎 관절 관내인공은 인간의 뼈와 매끄럽게 상호 작용합니다.