MarSurf WI Series: Precise measurement in the lower nanometer range

Ganz gleich, ob Medizintechnik, Optik oder Halbleiterindustrie: Viele Branchen setzen auf extrem glatte Oberflächen, damit Linsen, Wafer oder Implantate die richtigen Eigenschaften erhalten. Dafür werden sie aufwändig gefertigt und in den Laboren und Qualitätssicherungen der Hersteller minutiösen Prüfungen unterzogen. Weil es bei der Rauigkeit dieser Oberflächen auf den Sub-Nanometer ankommt, ist die Weißlichtinterferometrie die Messmethode der Wahl.

Die drei neuen Mahr-Weißlichtinterferometer sind mit der einzigartigen ICA-Technologie („Intelligent Correlation Algorithm“) ausgestattet. ICA ermöglicht eine sehr gute statistische Bestimmung der Höhenwerte, beste Datenqualität und ein minimales Rauschmaß von nur 80 Pikometern. Messdaten liefert sie in wenigen Sekunden. Das bedeutet für Anwender: Hochpräzise Topografiedaten und Oberflächenstrukturen bei einer sehr hohen vertikalen Auflösung.

Die neue Weißlichtinterferometrie-Serie von Mahr umfasst drei Geräte:

• Das manuelle MarSurf WI 50 M als Allround-Einstiegslösung für anspruchsvolle Messaufgaben
• Das MarSurf WI 50, ein hochpräzises Messtool für Forschung und Qualitätsmanagement
• Das automatisierbare MarSurf WI 100 als Profi-Gerät mit erweiterter Z-Achse für besonders große Werkstücke

Über die Genauigkeit hinaus punkten die drei Geräte mit einem sehr großen Positioniervolumen für große Werkstücke und der intuitiven Benutzersoftware, die Mahr-Kunden bereits von den anderen optischen Systemen kennen und schätzen. Damit können Labore und Qualitätssicherungen feinste Rauheiten, Stufenhöhen oder Ebenen im Nanometerbereich eruieren – und das in wenigen Sekunden.